分子ポンプの以下の異常は、できるだけ早く修復する必要があります

分子ポンプの以下の異常は、できるだけ早く修復する必要があります

分子ポンプは高速回転機械であり、ベアリングの故障によりポンプブレードが直接スクラップに破損する可能性があります。ベアリングの動作状態が悪い場合、分子ポンプが始動できない、動作騒音の増加、温度や電力の異常な上昇など、外部環境の排除や吸排気圧が高すぎる外的要因など、一連の現象があり、できるだけ早くポンプを停止する必要があります。 メンテナンスのためにメンテナンスセンターに送られます。

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