真空システムの設計は安定した、信頼できる排気を保障するべきである

真空システムの設計は、安定した信頼性の高い排気、簡単な取り付け、分解とメンテナンス、便利な操作、およびコンポーネント間の接続の互換性を保証する必要があります。作業で安定した排気を実現するためには、主ポンプ性能が安定であることが要求され、バルブ動作が柔軟で、シールが信頼性が高く、システム内の各部品の接合部が漏れず、真空チャンバのシール性能が良好であり、真空部品が標準サイズで接続され、互換性を確保する。真空システムの設計では、原則として、各閉管サイズは調整可能なサイズを持っている必要があります。過去の設計でこの調整可能なサイズは、ホースを解決するために使用され、今ではシステムの設計、ほとんどのホースを使用していません。設置誤差は、真空部品の加工寸法精度を向上させ、システムの強度と剛性を向上させ、システムで使用される支持を減らし、より美しくすることができる接続フランジのシールゴムリングを使用することによって解決することができます。

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