ポンプの目的で、凝縮ポンプを吸引して低温の表面でガスを凝縮します

1）ポンプの目的で、凝縮ポンプを吸引して低温の表面でガスを凝縮します。 真空チャンバー内に冷たい表面があると、そこに結露が発生し、空気の抽出の役割を果たします。 これは、極低温凝縮ポンプと極低温コールドトラップの動作原理です。 飽和蒸気圧は温度と密接に関係しており、温度が下がると飽和蒸気圧が下がります。

表1に、大気の標準組成を示します。 図1は、さまざまなガスの飽和蒸気圧の温度関係曲線を示しています。 図1からわかるように、ネオン、水素、ヘリウム、その他の凝縮しにくいガスを除き、温度が20Kに下がると、空気中の他のすべての成分の飽和蒸気圧は10-10トル未満になります。 したがって、空気で満たされた気密容器が20Kに冷却されると、真空は1.2E-3トルに達する可能性があります。 4.2kでは、ヘリウムのみが残り、真空は最大5e-5torrです。 凝縮ポンプの低温表面は一般に約14-20kで選択でき、簡単な凝縮ガスでフラッシングする方法または他のポンプで掃除機をかける方法を採用して、ポンプ内の水素、ヘリウムおよびその他の困難な凝縮ガスの量を大幅に削減しますシステム。 運転中にシステムに漏れる凝縮しにくい少量のガスも、他のポンプで除去できます。

[表1]標準大気組成

[図。 1]各種ガスの飽和蒸気圧の温度関係

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