マグネトロンスパッタリングプロセスにおける一般的な問題の解決策
Sep 08, 2022| マグネトロンスパッタリングプロセスにおける一般的な問題の解決策
物理蒸着 (PVD) プロセスであるマグネトロン スパッタリングは、半導体、ディスク ドライブ、CDS、および光学デバイスを製造するための主要な薄膜蒸着方法です。 以下は、マグネトロン スパッタリングにおける一般的な問題です。 考えられる原因と関連する解決策をリストにまとめましたので、ご参照ください。
● 問題 1: フィルムがグレー黒または暗い
問題2:フィルムの表面がくすんで鈍い
問題 3: フィルムの色が均一ではない
●問題点4:しわ、ひび割れ
問題 5: フィルムの表面に透かし、指紋、灰色の粒子が付いている

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