異なる真空範囲での真空測定機器の選択

大まかな真空

一般真空用途、バネ式真空計（機械的弾性変形ゲージ）

同時に、粗真空から低真空まで測定する場合、ダイヤフラム式真空計、容量膜式真空計、放射性イオン化真空計を使用できます

101325-1000Pa

腐食性ガス、容量性フィルムゲージ

精密測定機会、U型真空計

低真空

大まかな表示のみ 、 スパークバキュームインジケーター

1000-0.1Pa

一般的に、熱電対または抵抗真空計

精密測定、圧縮式真空計または静電容量式薄膜真空計

高真空

イオン化真空計の主な用途

10 ^-1 -10 ^-6 Pa

圧縮真空計

同時に、低真空と高真空、複合真空計（イオン化真空計と熱電対真空計の組み合わせ）、または高圧イオン化真空計を測定する必要があります

放電容量が大きく、要件が低い場合の真空機器用の冷陰極電離真空計

  超高真空（UHV）

BA 型電離真空計

低真空測定から超高真空、広範囲超高真空計または複合超高真空計まで

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

冷陰極磁気制御イオン化真空計

非常に高い真空 （XHV）

・

冷陰極磁気制御イオン化真空計

うん   10 ^-10 Pa

熱陰極磁気制御イオン化真空計

改良されたba電離真空計