真空システムの実際の漏れと仮想漏れ

真空システムの実際の漏れと仮想漏れ

すべての拡張ポンプ時間と最終的な圧力低下が漏れによるものではないため、漏れ検出器を使用して漏れを検出する前に真空機器が漏れているかどうかを判断する方法を知る必要があります。真空汚染物質の真空チャンバーの壁または空洞内側の内側、真空下、ガスの連続放出、デフレとして知られる現象。真空チャンバーにデッドスペースがあり、デッドスペースが狭いチャネルを介してチャンバーに接続されている場合、デッドスペースのガスも真空下でゆっくりと放出され、通常は仮想漏れと呼ばれる通気や漏れに似た現象を形成します。

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