PVDプリクリーニング方法5紫外線およびオゾン洗浄
Jul 07, 2021| PVDプリクリーニング方法5紫外線とオゾン洗浄
洗浄方法:紫外線・オゾン洗浄方法
洗浄の目的:可動脂肪などの有機物を除去する
洗浄手段:紫外線とオゾンによる物理的・化学的作用
洗浄方法:この方法は、上記の方法の後処理プロセスとして用いられる。このプロセスは、低圧の紫外線照射器の下に基板を置き、オゾンに対して数秒間紫外線を照射するオゾン発生器を配置する。紫外線強度は基板5mmで1.6mW/cm2、オゾン発生器は基板から約6cm離れています。

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