血漿増強化学蒸気沈着

血漿増強化学蒸気沈着

PECVD（原則）は、マイクロ波または無線周波数を使用して、膜成分原子を含むガスをイオン化し、局所的な血漿を形成し、血漿は非常に化学的に活性で反応しやすく、目的の膜を基板に堆積させます。
化学反応をより低い温度で実行できるようにするために、血漿の活性を使用して反応を促進するため、このCVDは血漿強化化学蒸気堆積（PECVD）と呼ばれます。

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