多層ジェット蒸着 (MLSD)

多層ジェット蒸着 (MLSD)

従来のジェット蒸着技術と比較して、多層ジェット蒸着の重要な特徴は、レシーバーシステムとるつぼシステムの動作を調整できるため、蒸着プロセスが均一になり、軌道が繰り返されないことです。平坦な成膜面が得られます。 その主な特徴は、従来のジェット蒸着よりも冷却速度が速く、冷却効果が優れていることです。 大きなサイズのワークを準備することができ、冷却速度に影響を与えません。 プロセスが簡単で、高い寸法精度と均一な表面を備えたワークを準備することができます。 高い液滴堆積速度。 材料の微細構造は均一かつ微細であり、明らかな界面反応はありません。

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