ダブルルーツポンプをメインポンプとした中真空ユニット

ダブルルーツポンプをメインポンプとした中真空ユニット

真空ユニットの排気性能を向上させるため、下限圧力の実現、低入口圧力での排気速度特性の向上、大型真空ユニットのフロントポンプの小型化、3段ポンプ群から構成されています。図 5-8 および 5-9 に示すように、メイン ポンプとして 2 つの ZJ ルーツ ポンプを直列に接続して形成できます。

▲ 図5-8 二段ルーツポンプ給油シールメカニカルポンプ

▲ 図5-9 2段ルーツポンプ＋水封ポンプユニット

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