マグネトロンスパッタリング膜のシワ・ひび割れ・解決方法

マグネトロンスパッタリング膜のシワ・ひび割れ・解決方法
● プライマースプレーが濃すぎる。 スプレーの厚さを制御する必要があります。
コーティングの粘度が高すぎます。 コーティングの粘度は適切に下げる必要があります。
● 蒸発速度が速すぎます。 蒸発速度を適切に遅くする必要があります。
● フィルム層が厚すぎます。 スパッタリング時間は適切に短縮する必要があります。
● 電気めっき温度が高すぎます。 めっき部品の加熱時間は適切に短くしてください。

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