低温吸着ポンプ吸引、チャンバー真空の改善

1）低温吸着ポンプの吸引、チャンバーの真空の改善：低温吸着ポンプは活性炭またはモレキュラーシーブおよびその他の吸着剤の使用で、低温では真空を得るためにガスを吸収する強力な能力があります。 ポンプの構造は単純で、振動がなく、ポンプとポンプでくまれる空間が非常に近く、ポンプ速度が速くなります。 吸着ポンプは、ヘリウム、水素、ネオン、その他のガスを吸引できます。 吸着剤が飽和した後、加熱して減圧することにより吸着剤を再生することができます。

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