低圧浸炭

真空浸炭は、低圧浸炭とも呼ばれ、大気圧よりも低い雰囲気で部品の表面に炭素原子を浸透させる化学的熱処理プロセスです。 全体のプロセスは基本的には通常のガス浸炭と同様で、浸炭ガスの分解、活性炭原子の吸収、活性炭原子の内部拡散の３つのプロセスから構成されます。 具体的な工程としては、部品の洗浄、装入、真空炉（2000Pa以下）、昇温・均熱（900～1000度）、浸炭・拡散、熱処理等の工程が含まれます。
各段階の異なるプロセスパラメータに従って、真空浸炭プロセス全体を段階、パルスタイプ、スイングタイプのいくつかの形式に分けることができ、真空度、温度、浸炭時間は異なる特定の要件に応じて変化します。

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