イオン注入

イオン注入

5〜500keVのエネルギーのイオンビームがワークの表面に直接衝突します。 イオンエネルギーは非常に大きいため、イオンは処理済みワークピースの表面層にドリルで穴を開け、表面層の化学組成を変化させ、ワークピースの表面層の機械的および物理的特性を変化させます。

この方法は温度によって制限されず、どの元素と粒子サイズが注入され、異なる要件に従って異なるイオン（リン、窒素、炭素など）を注入できます。 注入された表面要素は、均一性が高く、純度が高く、注入された粒子の体積と深さを制御できますが、設備コストが高く、コストが高く、生産性が低くなります。

IKS PVD電子ビーム光学塗装機、IKS-OPT2700、詳細、お問い合わせiks.pvd@foxmail.com