ホールディングポンプ

ホールディングポンプ
拡散ポンプやオイルブースターポンプの起動時間が長いため、周期運転を行う真空装置では、真空チャンバーへのロード・アンロードの際、稼働サイクルを短縮するためにメインポンプを停止しないことが多く、高真空バルブとフロントパイプラインバルブが閉じているため、メインポンプはまだ作動状態にあります。 バルブなどには常に微量の空気漏れがあり、バルブ表面やポンプベントの表面から、一定時間後にメインポンプのポンプ室内の圧力が上昇し、ポンプ作動液の最高許容圧力を超え、ポンプオイルの蒸気を酸化させます。 この問題を解決するには、フロントポンプを使用してメインポンプ内のガスを抽出し続けることが1つの方法ですが、このときメインポンプで排出されるガスの量は非常に少なく、フロントポンプは大きなものになります。馬車、エネルギーの無駄遣い。 この目的を達成するために、別の方法を使用して、フロントポンプの動作を停止し、フロントパイプラインバルブを閉じ、メインポンプの出口にメンテナンスポンプまたはガス貯蔵タンクを設置して、ガスが確実に流入するようにすることができます。メインポンプの放電が可能になり、エネルギー消費を節約できます。 ガス貯蔵タンクはあまり大きくすることができず、メインポンプとして拡散ポンプを備えた小型の真空装置でのみ使用できます。 メンテナンスポンプは大型のメインポンプを搭載した真空ユニットに使用できます。

IKS PVD会社、装飾塗装機、工具塗装機、DLC塗装機、光学塗装機、PVD真空塗装ライン、ターンキープロジェクトをご利用いただけます。 今すぐご連絡ください。メール: iks.pvd@foxmail.com