DLC化学蒸気堆積

DLC化学蒸気堆積（CVD）およびプラズマ増強化学蒸気堆積（PECVD）化学蒸気堆積は、化学相反応成長法です。いくつかの化合物または元素反応ガスを反応室に渡し、分解、脱着、およびガス溶解界面で結合して均一な固体膜を生成することです。化学蒸気堆積の主な方法は、大気圧力、低圧力および低温化学蒸着、低圧下の化学蒸着（MOCVD）、プラズマ支援化学蒸気堆積（PVCD）、およびレーザー化学蒸気堆積（LCVD）です。主なものは、血漿補助化学蒸気沈着です。

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