拡散ポンプと機械式ポンプおよびコールドトラップ真空システム

拡散ポンプと機械式ポンプおよびコールドトラップ真空システム

その図は、真空システム、2つの液体窒素コールドトラップと直列の拡散ポンプ、および真空チャンバーとコールドトラップ6が400〜450℃で焼けることです。 この温度で、真空チャンバー壁とコールドトラップ壁に吸着したガスと復水ポンプ油を取り除くことができます。 このシステムにより、1.33×10-7Paの極限真空が得られます。

油拡散ポンプ超高真空システム

1.真空チャンバー2.熱電対真空計3.BA真空計4。 コールドトラップ8.電離真空計9.拡散ポンプ10.フロントパイプラインバルブ11.ソレノイドバルブ13.メカニカルポンプ14.超高真空パイプバルブ

15.ベーキング装置

IKS PVD社、装飾コーティング機、工具コーティング機、光学コーティング機、PVD真空コーティングライン、ターンキープロジェクトが利用可能です.今すぐお問い合わせください、Eメール：iks.pvd@foxmail.com