拡散ポンプ
Apr 09, 2020| 拡散ポンプ
ご存知のように、油拡散ポンプは、高真空システムでよく使用される一種のポンプです。 それで、問題は、方法は何ですか？ 方法は次のとおりです。最初に、油拡散ポンプの限界圧力での拡散ポンプ油の良好な性能の選択は大きな影響を与えます。 いいえ。 3つの拡散ポンプオイルが使用され、最終的な圧力は10-5paにしか達することができません。 275シリコーンオイルを使用すると、到達圧力は10-7paに達し、到達圧力は2桁増加します。 第二に、ポンプガスの分圧は、ポンプオイルの組成の影響であるポンプオイルの違いによっても変化します。 したがって、超高真空を得るためには、性能の良い油拡散ポンプを選択する必要があります。 拡散ポンプのオイルはとても重要なので、どのように選ぶべきですか？ 拡散ポンプオイルの要件は、ポンプオイルの相対分子量が大きく、室温蒸気圧が低く、熱安定性と耐酸化性が良好、凝固点と低温粘度が低く、非毒性であることです。耐食性、低コスト。 高真空油拡散ポンプは一般的に使用しません。 3拡散ポンプオイル、超高真空はシリコンオイルを使用し、炭化水素を含まない超高真空システムが必要です。拡散ポンプはフッ素オイルを使用します。 第二に、超高真空システムを取得するための合理的なベーキング技術の油拡散ポンプの使用は、高温ベーキングを実行する必要があります、目的は材料の割合を減らすことです。 大気中の材料は、一部のガスを吸収および吸収できます。真空の場合、ベーキングを使用して、脱着を促進するために、ガスがゆっくりと放出されて脱着します。
焼く？ 簡単に聞こえますか？ いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ、いいえ。 原則は、温度が高いほど優れており、空気を高速化できますが、材料が高温に耐えられるかどうかを検討することもできます。 適切な温度で焼く。 通常、ステンレス鋼などの金属材料は、250 ℃ 〜450 ℃のベーキング温度です。 非金属材料の焼成温度は80 ℃ 〜100 ℃ です。 4時間から8時間のベーキング時間。 超高真空のベーキング時間は24時間以上です。 金属オイル拡散ポンプの超高真空システムにおける典型的な金属オイル拡散ポンプシステム（ベーキング後）と残留ガスコンポーネントのパフォーマンス。 第3に、コールドトラップデバイスを追加してポンプオイルの逆流を防止し、ポンプオイルをポンプ入口フローからポンプコンテナに移送します。現象は逆流と呼ばれます。 油分子が壁に沿って汲み上げられたコンテナに移動する現象は、逆マイグレーションと呼ばれます。 逆流と逆移動の両方が真空システムの最終的な圧力に影響を与えます。 コールドトラップは超高真空システムで広く使用されており、ポンプの入口と真空チャンバーの間に設置され、拡散ポンプの蒸気の逆流と部分的な分割溶液を効果的に捕捉できるだけでなく、蒸気を真空室。 さまざまなトラップを備えた超高真空システム。 十分な高温ベーキング、脱気を行うことで10-8pa〜10-10pa（以上）の超高真空が得られます。 液体窒素の温度では、ポンプのオイルの蒸気圧が超高真空の要件よりもはるかに低いため、一般的に使用されるコールドトラップは液体窒素のコールドトラップです。 液体窒素コールドトラップの設計では、トラップを通過する分子がコールドサーフェスに確実に接触し、構造が適切である必要があります。 液体窒素コールドトラップを取り付けた後、油拡散ポンプの排気速度は40％以下しか低下しません。
ポンピングされたガスの逆拡散を減らすことは、超高真空を得るために拡散ポンプを制限する要因の1つです。 ガスの拡散防止は分子量に関係しています。 質量が小さいほど、拡散が容易になります。 拡散ポンプでの水素の逆拡散を防止するには、2つの方法があります。1つは、2つの拡散ポンプを直列に使用して、拡散ポンプの出口で排気圧力を下げることです。 2つ目は、拡散ポンプの入口パイプに液体窒素で冷却されたチタン昇華トラップを設置して、拡散防止水素を捕獲することです。
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