複合超高真空システム・スパッタリングイオンポンプ・チタンサブリメーションポンプセット

複合超高真空システム・スパッタリングイオンポンプ・チタンサブリメーションポンプセット

図 5-17 複合超高真空システム: 1- 真空チャンバー 2- 超高真空ゲートバルブ 3- スパッタリングイオンポンプ - チタンサブリメーションポンプグループ 4- Ultra -高真空ゲートバルブ 5- コールドトラップ 6- 拡散ポンプ 7- フロントパイプラインバルブ 8- 超高真空パイプラインバルブ 9- ブリードバルブ 10-機械式真空ポンプ

図 5-17 は、別のタイプの複合超高真空システムを示しています。 このシステムは真空シール炉、タンタルシート炉などに適しています。 システムのメインポンプはスパッタリングイオンポンプ・チタンサブリメーションポンプ群です。 真空チャンバーの限界真空度は 5×10-7Pa に達することがあります。 油拡散ポンプとメカニカルポンプからなるユニットを搭載しており、メインポンプとして粗圧送と前圧送を行い、工程中に排出される多量の油を圧送することができます。

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