化学蒸気蒸発（CVD）

化学蒸気蒸発（CVD）は、高温での気相反応を指します。
たとえば、金属ハロゲン化物、有機金属化合物、炭化水素などの熱分解、水素還元、または高温での混合ガス生化学反応を行う方法は、金属、酸化物、炭化物などの無機材料を沈殿させる方法です。
このプロセスは、主に高温での気相反応を指し、熱耐性材料層、高純度金属の生産、半導体フィルムの生産で広く使用されています。

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