イオンビーム加工技術の特徴
Dec 08, 2019| イオンビーム加工技術の特徴
1.高い加工精度
イオンビーム加工は、現在最も精密で微細な加工技術です。 イオンエッチングの精度はダナミスケールであり、イオンコーティングの精度はサブミクロンレベルで制御でき、イオン注入の深さと濃度は正確に制御できます。
2.環境汚染なし
イオンビーム処理は真空中で行われ、特に酸化しやすい金属、合金、半導体材料の処理に適しています。
3.高い加工品質
イオンビーム処理は、材料の表面の原子にイオンを衝突させることで実現されます。 機械加工の応力と変形は最小限であり、さまざまな素材や低剛性部品の加工に適しています。
IKS PVD電子ビーム光学コーティング機、IKS-OPT2700、詳細、お問い合わせiks.pvd@foxmail.com
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