電子ビーム加工技術の特徴

電子ビーム加工技術の特徴

電子ビームは非常に細かく（最大〜1 m）集束できるため、微細加工が可能です。
処理された材料の範囲は広い。 導体、半導体、および非導体材料のさまざまな機械的特性を処理できます。
処理効率は非常に高いです。

真空で処理し、汚染が少なく、処理面が酸化されにくい。
電子ビーム処理には、特別な装置と真空システムの完全なセットが必要です。価格はより高価であるため、生産ではある程度制限されます。

イオンビーム処理の原理

真空条件下では、イオン源によって生成されたイオンビームが加速され、集束され、ワークピースの表面に投影されます。 イオンは正電荷を持っているため、その質量数は電子の数千倍または数万倍にもなり、ワークピースの処理を達成するためのマイクロメカニカルインパクトを通じて、ワークピースに衝突する際の大きな運動エネルギーを持ちます。

イオンビームと電子ビームの処理原理は基本的に同じです。 主な違いは、イオンが正電荷を持つことです。 それらの質量は電子の数千倍または数万倍であるため、電場ではよりゆっくりと加速します。

電子ビーム処理は、電気エネルギーを熱エネルギーに変換することにより処理されます。 イオンビーム処理は、電気エネルギーを運動エネルギーに変換することで処理されます。

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