超高真空ユニットの特性と分類

Mar 01, 2021|

超高真空ユニットの特性と分類

10-5Pa以上で動作する超高真空ユニットには、拡散ポンプ、分子ポンプ超高真空ユニット、オイルフリー超高真空ユニットが含まれます。ユニットには以下の特性があります。
(1)メインポンプの究極の真空度が高く、10-7〜10-8Pa以上である。
(2)200〜450°Cの高温焼成に耐えることができます。
(3)メインポンプの逆流ガスの分圧が非常に低い。
(4)ガス選択的に強い主ポンプをポンプで送り出すために、十分に大きな補助ポンプを装備すること。
真空チャンバ、パイプ、バルブ、その他の部品の材料出口率は非常に低く、空気漏れ率は非常に小さいです。