ブーストテスト - 真空システムに実際のリークがあるかどうかを判断します
Mar 27, 2025| ブーストテスト - 真空システムに実際のリークがあるかどうかを判断します
圧力上昇試験は、圧力保持試験または真空保持試験とも呼ばれます。真空ポンプとチャンバーの間のバルブが真空下で閉じられると、通気、仮想漏れ、または漏れによりチャンバーの圧力が上昇します(リバウンド)。圧力の上昇を経過時間だけ分割することにより、真空システムの圧力上昇率を計算し、次の図に示す曲線としてプロットできます。圧力の上昇と下降速度は通常、PA/HRとして表されます。一般的な産業用真空装置、圧力テスト、圧力上昇率はPA/HRを調査し、問題を解決する必要があります。システムAに上記のように、圧力上昇率を何度も測定する場合、それはおそらく実際の漏れを持つシステムです。それに対応して、上の図のシステムBの場合、時間が経つにつれて、その圧力上昇率は低下します。つまり、システム圧力の増加率は時間とともに低下し、仮想漏れまたは通気があることを示唆しています(小さな漏れもあるかもしれません)。圧力降下と圧力の増加テストは漏れを見つけられず、すべてのガス源(実際の漏れとデフレートまたは仮想漏れ)、スタッキング効果のみを示します。実際のリークが疑われる場合、次のステップは通常、ヘリウムリーク検出器を使用してリークを検出することです。

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