バイアス電源：DCバイアスとパルスバイアスの違いは何ですか？

バイアス電源：DCバイアスとパルスバイアスの違いは何ですか？

バイアス電源：DCバイアス電圧とパルスバイアスの違いは、主に出力モードと効果に反映されます。 DCバイアス電源は連続電圧で出力を供給しますが、パルス型バイアス電源はユニポーラパルスモードで出力を出力しました。このパルスモードにより、電圧が短時間ピークになり、急速に減少します。 DCバイアスは、イオンエネルギーを制御するために基板に負のバイアスを適用するのに適していますが、パルスバイアスにより、パルスデューティサイクルを調整して基質と表面間の温度勾配を変化させることにより、堆積温度を制御できます。パルスバイアスの導入により、イオン爆撃効率が向上し、フィルム特性が改善され、堆積温度が低下します。

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