ハイパワーパルスマグネトロン電源

高出力パルスマグネトロンスパッタリング技術の利点 （ HIPIMS ）

◆ 従来のDCマグネトロンインパルス電力は、ターゲットの熱応力によって制限される。

◆   イオンコリジョンエネルギーの大部分は、ターゲットの熱エネルギーに直接変換することができます。

◆ パルスマグネトロン電源は、高いパルス出力と低いデューティサイクルを保証します。

◆パルスマグネトロン電源は、DCマグネトロンスパッタリング電源に直接置き換えることができます。

高出力パルスマグネトロンスパッタリング放電とDCマグネトロンスパッタリング放電との比較

高出力パルスマグネトロンスパッタ電源の特長

◆従来のマグネトロンスパッタリングの異常グロー放電領域からのアーク放電領域への侵入を避けるため、正負の放電を高速スイッチで制御しています。 電流密度は1018〜1019 / m3であり、これは従来のマグネトロンスパッタリングよりも非常に高い。 また、80％〜99％と非常に高いイオン化率で、強力な接着性を有する先進の様々なフィルムを容易に堆積することができる。

◆ 高出力パルスマグネトロンスパッタリングパワーは、膜のコンシステンシー、硬度、耐摩耗性および接着性に関してより優れた膜特性を提供する。

◆   高インパルス電力および低デューティサイクルでは、高出力パルスマグネトロンスパッタリング電源は、元のマグネトロンスパッタリングコーティング装置を変更することなく、直接DCマグネトロンスパッタリング電源に取って代わることができる。

◆ PHPアーク抑制技術は、ユーザーが表面処理の過程でフィルムの品質をより便利に制御できるようにします。 電圧安定化および理想的なクーデターの機能により、電源はワーク表面上のアーク放電を効果的に抑制し、めっき部品の生産歩留まり、表面粗さおよび膜接着性を大幅に改善することができる。

◆ 高出力パルスマグネトロン電源は、高度な高周波インバータスイッチング電源技術と高出力IGBTパワーモジュールを採用しています。

◆ タッチスクリーンマイクロコントローラを使用することで、電源は高度に統合されており、操作が簡単で強力です。 電流と電圧の表示は非常に明確で直感的です。 また、多チャンネル高速計数、高速パルス機能をサポートしています。

◆   電源には、過電流、過電圧、過熱保護機能があります。

◆   電源は、RS232、RS485、WIFIなどのデジタルポートを介してホストコンピュータと通信でき、制御機能が拡張されます。

製品仕様書

高出力インパルスマグネトロンスパッタリング電源EP50A80Hと他の製品との比較

高出力パルスマグネトロンスパッタリングパワーEP50A80Hの利点

◆高い信頼性

EP50A80Hは、フィルムのコンシステンシー、硬度、耐摩耗性、接着性の点でより優れたフィルム特性を提供します。

◆優れたアーク抑制技術

EP50A80HはPHPのアーク抑制技術を採用しているため、ユーザーは表面処理の過程でフィルムの品質を便利に制御してより良いフィルム構造を得ることができます。

◆良好な互換性

EP50A80Hは、既存のマグネトロンスパッタリング電源を直接置き換えることができます。 カソード材料と磁場を交換する代わりに、ユーザーは冷却システムを交換するだけで済みます。

◆高出力対体積比

高出力の体積比により、機器の設置の統合が容易になります。

応用

高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、プラズマ、物理、化学、医療および様々な科学研究分野で広く使用されており、特に真空コーティング装置における広範囲のプロセス要件を満たすことができる。

パッキング： 1.木製ボックス

                   2.カートン

                   3.あなたの要求として

支払い：   T / T、L / Cなど

納期：   通常、支払い後15〜20日

運送：   空または海で

人気ラベル: 高出力パルスマグネトロン電源、中国、メーカー、サプライヤー、購入する、カスタマイズ、中国製