5Gスマートフォン用コーティング装置

真空度

到達真空度：6×10 ^-4 Pa（ 加熱せずに24時間無負荷 ）

重量

8000kg、床重量 ﹥ 1000kg /㎡

漏れ率

＜ 4×10 ^-3 Pa×L / S（ヘリウムリークチェック）

温度

250℃までの室温で、温度均一性±5％

ワーキングバキューム

6×10 ^-3 Pa（ 自動プロセス起動 ）

電源

三相、380V 、 50Hz 、 60-100KW

低真空

10分 ＜ 10Pa

水冷

チャンバーフロー ＞ 4000L / H 、ポンプ流量 ＞ 1800L / H、冷凍コンプレッサ ＞ 1600L / H

高真空

6分 ＜ 8×10 ^-3 Pa

温水

蒸発源1800L / H、35〜60℃

真空測定

全プロセスモニタリングとリアルタイムポイント収集

床面積

L6×w5.5×H3.5m

応用

眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光ディスプレイなど