イオンビーム処理の特徴：

イオンビーム処理の特徴：

（1）イオンビームは電子光学システムを介して集束することによりスキャンできるため、イオンビーム衝撃材料は原子を層ごとに除去し、イオンビーム密度とイオンエネルギーを正確に制御できるため、イオンエッチングはナノメートル（0.001 nm）の加工精度を達成できます。 イオンコーティングはサブミクロンレベルで制御でき、イオン注入の深さと濃度は非常に正確に制御できます。 したがって、イオンビームは、すべての特別な処理方法の中で最も正確で微細な処理方法であり、最新のナノメートル処理技術の基礎となっています。

（2）イオンビーム処理は高真空で実行されるため、汚染が少なく、酸化しやすい金属、合金材料、高純度半導体材料の処理に特に適しています。

（3）イオンビーム処理は、材料の表面にある原子にイオンを衝突させることにより行われます。 それはミクロ効果であり、マクロ圧力は非常に小さいので、加工応力、熱変形、その他の小さく、高い加工品質、あらゆる種類の材料と低剛性部品加工に適しています。

（4）電子ビームの強度、位置、および焦点は、磁場または電子によって直接制御できるため、プロセス全体を最初に自動化すると便利です。 特に電子ビーム露光では、処理の場所から処理グラフィックのスキャンまで。 自動化できます。 電子ビームのドリルおよび切断中に、電気制御により特殊な形状の穴を加工して、湾曲した切断を実現できます。

IKS PVD電子ビーム光学塗装機、IKS-OPT2700、詳細、お問い合わせ iks.pvd@foxmail.com