真空ポンプの分類

真空ポンプの分類

真空ポンプの動作原理によれば、真空ポンプは基本的に可変容積真空ポンプと運動量伝達ポンプの 2 種類に分類できます。
可変容積真空ポンプは、ポンプ室容積の周期的変化を利用して吸引と排気を完了させ、空気抽出の目的を達成する真空ポンプです。 ガスはポンプ室から排出される前に圧縮されます。
運動量伝達ポンプ (分子真空ポンプ) は、高速回転ブレードまたは高速ジェットを利用して運動量をガスまたはガス分子に伝達し、ガスがポンプの入口から出口まで連続的に流れるようにします。 (別段落の紹介)
変動真空ポンプは往復式、回転式（ロータリーベーン、スライドバルブ、液封式、ルーツ式、スパイラル式、クローローター式）などに分けられます。

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